手術(shù)室凈化濕度過產(chǎn)生的問題多。相對濕度過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清 除。相對濕度越,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度30時，又由于靜電力的使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳溫度范圍為35—45。